脉冲激光沉积系统 仪器型号NEOCERA P180 生产厂家美国Neocera公司 购买时间2010年 技术指标电抛光,304不锈钢,18″球型腔体,设计用来集成PLD,PED,高压RHEED,RF溅射源,直流离子源和基片LOAD-LOCK用于将来升级,45°入射的激光