脉冲激光沉积系统

仪器型号

NEOCERA P180

生产厂家

美国Neocera公司

购买时间

2010年

技术指标

电抛光,304不锈钢,18″球型腔体,设计用来集成PLD,PED,高压RHEED,RF溅射源,直流离子源和基片LOAD-LOCK用于将来升级,45°入射的激光

脉冲激光沉积系统

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